ویکیوم آئی آر حرارت کے ذریعہ سیمی-فیبس کو زیادہ ماحول دوست بنانا
اگر ہم واقعی سیمی کنڈکٹر فیکٹریوں میں کاربن نیوٹرالٹی حاصل کرنا چاہتے ہیں، تو ہمیں حرارت کے مسئلے پر ضرور بات کرنی ہوگی۔ روایتی رزسٹیو ہیٹنگ سسٹم بہت زیادہ توانائی ضائع کرتے ہیں؛ انہیں گرم ہونے میں بہت وقت لگتا ہے، اور توانائی ہر جگہ بکھر جاتی ہے۔
اسی لیے ہم ویکیوم کے مطابق کام کرنے والے آئی آر ہیٹر استعمال کرتے ہیں۔ ان ہیٹرز کے ذریعہ توانائی کو براہِ راست ویفر پر منتقل کیا جاتا ہے؛ یہ بہت ہی موثر طریقہ ہے۔
ویکیوم میں حرارت کا مسئلہ
ویکیوم میں ہوا موجود نہیں ہوتی، اس لیے حرارت کو منتقل کرنے کے لیے ریڈیئیشن پر ہی انحصار کرنا پڑتا ہے۔
ہم نے ان آئی آر لیمپس کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ وہ کم جگہ میں زیادہ توانائی پیدا کر سکیں۔ اس سے درجہ حرارت کو بہت تیزی سے تبدیل کیا جا سکتا ہے… یہ عمل چند سیکنڈوں میں ہی مکمل ہو جاتا ہے۔ جب چیمبر کے گرم ہونے کا انتظار نہیں کرنا پڑتا، تو ہر ویفر کے لیے درکار توانائی کی مقدار کم ہو جاتی ہے۔
لیکن ایک مشکل یہ ہے کہ اعلیٰ واٹج کے آئی آر ٹیوبس ایک جگہ پر بہت گرم ہو جاتے ہیں۔ اگر کولنگ سسٹم مناسب نہ ہو، تو چیمبر کے سیلز خراب ہو سکتے ہیں۔ یہ ایک توازن کی بات ہے۔
چیزوں کو صاف رکھنا
کلین روم میں “آؤٹ گیسنگ” ایک بڑا مسئلہ ہے… تھوڑی سی بھی آلودگی سے پیداوار میں کمی واقع ہو جاتی ہے۔
اسے روکنے کے لیے ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز سے بنے آلات استعمال کرتے ہیں۔ ہم لیمپ کی سطح کی اخراجی صلاحیت پر بھی توجہ دیتے ہیں… کیوں؟ کیونکہ اگر توانائی براہِ راست سبسٹریٹ تک نہ پہنچے، تو اس کا کوئی فائدہ نہیں۔
بہترین بات یہ ہے کہ یہ لیمپس بالکل آسانی سے تبدیل کیے جا سکتے ہیں… پرانے، غیر موثر لیمپوں کو بدلنے کے لیے پورے سسٹم کو دوبارہ تعمیر کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
یہ فیکٹری کے لیے کیا فائدہ دیتا ہے؟
جب پروڈکشن کا وقت کم ہو جاتا ہے، تو کاربن فوٹ پرنٹ بھی کم ہو جاتا ہے… بس اتنا ہی۔
اس کے علاوہ، عمارت کے HVAC سسٹم میں بھی کم توانائی خرچ ہوتی ہے… یہ بھی ایک فائدہ ہے۔ ہمیں اینیلنگ اور کیورنگ کے عمل میں سب سے زیادہ فرق نظر آتا ہے… آپ کو درکار درجہ حرارت حاصل ہو جاتا ہے، بغیر زیادہ توانائی کے استعمال کے۔
یہ ایک سادہ میکانی نظام ہے، لیکن اس سے ہر چپ کے لیے CO2 کی مقدار میں واضح کمی واقع ہوتی ہے۔