فیکٹری میں، تھرمل ڈرفٹ کو سمجھنے کے لئے کسی تعلیم کی ضرورت نہیں ہے۔ جو گرم کرنے کا عمل 110°C پر ہونا چاہیے، وہ 112°C تک بھی پہنچ سکتا ہے، اور اس عمل کے دوران اہم پیمائشوں میں نینومیٹر کی سطح پر تبدیلیاں رونما ہوتی ہیں۔ یہ کوئی نظریہ نہیں، بلکہ حقیقت ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم ٹائپ K تھرموکیپل کو سیدھے سیمی کنڈکٹر ہیٹر بلاک میں رکھتے ہیں، تاکہ ویفر کے درجہ حرارت کو پیمایا جاسکے – نہ کہ ہیٹر کی سطح کے درجہ حرارت کو۔ اس سے سبسٹریٹ پر ±0.1°C کی درستگی کے ساتھ کنٹرول ممکن ہوتا ہے۔ سینسر، اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز یا صاف کمرے میں استعمال ہونے والے دھاتی غلاف میں رکھا جاتا ہے، اور اس میں ایسا آلہ بھی ہوتا ہے جو ذرات کی پیداوار کو صفر پر رکھتا ہے۔
یہ ٹیمپریچر میں تیز تبدیلیوں اور بار بار ہونے والے گرم کرنے کے عملوں کو برداشت کرسکتا ہے، اور کلاس 1-100 کے ماحول میں بغیر کسی مسئلے کے کام کرتا ہے۔ آؤٹ پٹ 24/7 مستحکم رہتا ہے، تاکہ فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں یکسانیت برقرار رہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی کیا اہمیت ہے؟
لیتھوگرافی میں، فوٹوریزسٹ کے گرم کرنے کا درجہ حرارت، اس کی چپچپاہٹ اور موٹائی کو متاثر کرتا ہے، اور یہ براہ راست لائنوں کی چوڑائی کو کنٹرول کرتا ہے۔ اس تھرموکیپل کی بدولت، تھرمل بجٹ کو کنٹرول میں رکھا جاتا ہے، تاکہ گرم کرنے کے عمل میں یکسانیت برقرار رہے۔ اس سے کم غلطیاں ہوتی ہیں، کم ورک پڑتا ہے، اور CD کی کارکردگی بہتر رہتی ہے۔
توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ کنٹرولر، مقررہ درجہ حرارت کو حاصل کرنے کی کوشش میں زیادہ اضافہ نہیں کرتا۔ گرم کرنے کا عمل تیز ہوتا ہے، اور پروسیس میں استحکام رہتا ہے۔
فیکٹری میں کچھ اہم نکات:
تھرموکیپل، اس کی نصب کرنے کی درستگی سے متاثر ہوتا ہے۔ مخصوص کمپریشن فٹنگ اور ٹارک کا استعمال کریں؛ غلط نصب سے سینسنگ پوائنٹ متاثر ہوتا ہے، جس سے کنٹرول میں خرابی پیدا ہوتی ہے۔
یقین کریں کہ کنیکٹر کی قسم اور لیڈ کی لمبائی، کنٹرولر کے ان پٹ سے مطابقت رکھتی ہے؛ ورنہ کمپنسیشن کی غلطیاں تیزی سے بڑھ جاتی ہیں۔
مرمت یا ہیٹر کی تبدیلی کے بعد، اسے تھوڑی دیر کے لئے گرم کریں تاکہ یہ مستحکم ہوجائے۔ اسے اپنے پروسیس میں شامل کریں، تاکہ آپ کو کوئی پریشانی نہ ہو۔