Sınıf 100 temiz odasını gerçekten temiz tutmak
Yarı iletken üretim tesislerinde çalışırken “sıcaklık kontrolü” yeterli değildir. Asıl sorun kirlenmedir. Sınıf 100 ortamında, küçük bir polimer parçacığı veya tek bir toz zerresi bile waferlerin kalitesini bozabilir ve işlerin kötüye gitmesine neden olabilir.
İşte bu yüzden oraya rastgele bir ısıtıcı koymuyoruz. Yüksek saflıkta kuvars IR lambaları ve Teflon ile yalıtılmış kablolar kullanıyoruz. Bunun neden önemli olduğunu şimdi anlayacağız.
Yüksek saflıkta kuvarsın avantajları
Çoğu kuvars lambada metalik kirleticiler bulunur. Yüksek sıcaklıklarda bu kirleticiler dışarı sızabilir. Bu da yarı iletken üretimi için felaket anlamına gelir. Bu durumu engellemek için sentetik, yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz. Bu lambalar kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar kullanır; böylece enerjiyi doğrudan yüzeye yönlendirirler. Etraftaki havayı ısıtmak için zaman kaybetmezler. Bu da yerdeki tozların havaya karışmasını engeller.
Kabloların neden sorun yarattığı
Kablolar genellikle ilk arızalanan parçalardır. Eğer standart PVC veya silikon kaplamalar kullanılırsa, ısındıklarında duman çıkarmaya başlarlar. Böylece uçucu organik bileşikler salınır ve bunlar silisyum yüzeyine bulaşır. Bu da büyük bir sorundur. Biz ise kablo olarak Teflon (PTFE) kullanıyoruz. Bu malzeme yüksek sıcaklıklarda bile sağlam kalır ve gaz salmaz. Kimyasal olarak inert olduğu için, ister vakum ortamında isterse yüksek sıcaklıkta olsun, endişelenmenize gerek yoktur.
Dikkat edilmesi gereken birkaç şey
Bu lambalar çok fazla ısı üretir. Bu verimli bir durumdur, ancak montaj braketlerine dikkat etmek gerekir. Eğer soğutma sistemi mevcut ısıyı 처리 edemezse, lambanın gövdesi deforme olabilir. Bu lambaları mevcut ısıtıcıların yerine kolayca takılabilir şekilde tasarladık. Böylece partikül salmayan ve hedeflenen sıcaklıklara hızla ulaşan bir kaynak elde edersiniz. Elektrik gücünün lambanın watt değerine uygun olduğundan emin olun. Aksi takdirde filaman çok daha erken yanar.