Üretim sürecinde, lehim maskesinin kurutulması işlemi bir duraklama değil, bir kontrol noktasıdır. Eğer kurutma işlemi düzgün yapılmazsa, fotorezistin yapısı değişir ve litografi işlemleri olumsuz etkilenir. Biz de bu gerçekliğe uygun bir sistem geliştirdik.
Sistemin iç yapısında önemli olanlar
Wafer üzerindeki sıcaklık farkını ±0,1°C seviyesinde tutuyoruz; böylece her bölge aynı sıcaklığı alır. Kuvars-halogen lambaları, hem hafif hem de yoğun kurutma işlemleri için hızlı ve stabil bir yanıt sağlar. Böylece döngü süresi kısalırken kontrol de korunmuş olur. Odanın temizlik standardı Class 1–100’dür ve tüm hava akış yolları, partikül oluşumunu sıfıra indirmek için tasarlanmıştır. Sıcaklık kontrolünün tekrarlanabilirliği birkaç milisaniye civarındadır; bu sayede sonuçlar hatdan hata, parti from parti tutarlı kalır.
Neden 7×24 saat boyunca sorunsuz çalışır?
7×24 saat kesintisiz çalışırken güvenilirlik bir ölçüt değil, bir zorunluluktur. Sistemde hiçbir planlanmamış arıza olmaz ve bileşenler uzun süre kullanılacak şekilde tasarlanmıştır; bakım aralıkları arasında 5.000 saatten fazla çalışabilirler. Daha az arıza, daha stabile verimlilik ve öngörülebilir kapasite anlamına gelir. Ayrıca hassas kontrol, yetersiz veya aşırı kurutma durumlarını engelleyerek atık miktarını azaltır. Hızlı ve tekrarlanabilir kurutma işlemi ise her wafer başına harcanan enerjiyi azaltır ve döngü süresini kısaltır.
İhtiyacınız olan pratik detaylar
Kurulum için özel bir egzoz sistemi ve sabit voltaj regülasyonu gereklidir; lambaların ömrü ve stabilitesi buna bağlıdır. Sistem standart wafer işleme yöntemleri ve SECS/GEM arayüzleriyle çalışır; ancak eski sistemlerle entegrasyon için kısa bir ayar süresi gerekebilir. Bunları önceden hesaba katarsanız, hat her gün sorunsuz şekilde çalışacaktır.