Почему инфракрасные лампы на основе углеродного волокна являются отличным решением для производства полупроводников
Честно говоря, контроль температуры на производстве полупроводников может стать настоящей проблемой. Большинство старых систем нагрева работают неэффективно — они тратят половину времени на нагрев воздуха вокруг пластины, а не самой пластины.
Поэтому мы перешли на использование инфракрасных ламп на основе углеродного волокна. Вместо борьбы с процессами конвекции мы направляем тепло непосредственно на подложку. Это более эффективный способ работы, и благодаря этому цель создания «зеленого завода» становится реальной, а не просто слоганом компании.
Чудо углеродного волокна
Если вы использовали вольфрамовые или галогеновые нагреватели, вы знаете, как это работает: нужно включить их, а затем ждать, пока они нагреются. При этом энергия тратится впустую. Углеродное волокно работает по-другому: его используют для создания проводящего сердечника, что позволяет получить тепло почти мгновенно. Нет больше долгих периодов нагрева.
Кроме того, можно настроить спектр излучения так, чтобы он соответствовал спектру поглощения материалов. Таким образом, тепло поступает именно туда, куда нужно — на саму деталь. Таким образом, чистая комната больше не превращается в сауну.
Баланс между мощностью и размерами
При настройке таких систем нельзя просто использовать высокую мощность. Необходимо найти оптимальный баланс между мощностью и длиной лампы. Конечно, лампы с высокой мощностью отлично подходят для быстрого зажигания или сушки. Но есть один недостаток: такой высокий уровень тепла требует отказа от слабых систем охлаждения. Если охлаждение слабое, температура в помещении начинает изменяться. А это приводит к тому, что качество пластины ухудшается.
Сокращение затрат
Когда люди говорят о «углеродном следе», это звучит расплывчато. Но на производстве все сводится к одному: сколько киловатт-часов тратится на производство одной пластины? Инфракрасные лампы на основе углеродного волокна сокращают этот показатель, так как уменьшают время бездействия системы. Поскольку лампы мгновенно реагируют на команды контроллера, можно регулировать уровень тепла. Не нужно держать систему в состоянии повышенной температуры во время загрузки и разгрузки. Тепло будет генерироваться только тогда, когда это необходимо. Это снижает расходы на электроэнергию, а система охлаждения может наконец отдохнуть.