Pare de desperdiçar energia com ar: uma maneira melhor de secar os wafers As fábricas de semicondutores estão sob pressão para se tornarem neutras em termos de emissões de carbono. Mas, se olharmos para a fase de secagem, ela costuma ser um desastre em termos de eficiência energética. Muitas linhas de produção ainda utilizam fornos convencionais obsoletos. É como tentar aquecer todo um ambiente só para aquecer uma única xícara de café – você está desperdiçando muita energia ao aquecer as paredes do forno, quando o que realmente importa é o próprio wafer.
Como funciona o IR na prática Passamos a usar lâmpadas de infravermelho de onda curta, pois elas não afetam o ar. Em vez de esperar que o ambiente esquente, os fótons atingem a superfície do wafer e se transformam imediatamente em calor. É rápido. Realmente rápido. É possível atingir a temperatura desejada em segundos, e não em minutos.
Os números (e por que eles são importantes) Quando realizamos auditorias nas fábricas, analisamos algo importante: quilowatts-hora por wafer. Ao usar arrays de IR focados, eliminamos essa “massa térmica” enorme. Você não precisa mais lutar contra paredes de aço pesadas. Além disso, usamos modulação de largura de pulso (PWM) para controlar a energia utilizada. É como ter um interruptor de intensidade, em vez de um interruptor simples de ligar/desligar. Assim, você evita exceder a temperatura desejada, o que significa que não há mais risco de danificar os wafers. E o melhor de tudo? O consumo de energia costuma diminuir entre 20% e 30%.
O problema: não é tão simples assim O problema é que os arrays de IR geram muito calor em um espaço pequeno. Não é possível simplesmente inseri-los em um chassi antigo e pronto. Se os sistemas de refrigeração não forem adequados, o calor gerado pelos wafers pode danificar todo o equipamento. Ou você acaba queimando as lâmpadas, ou, pior ainda, danificando o próprio wafer.
Mudar para tecnologia IR não se trata apenas de substituir uma lâmpada. Trata-se de analisar todo o balanço energético da fábrica e eliminar esse “calor desnecessário” que vem consumindo recursos há anos.