
Pare de deixar que os elementos de aquecimento estraguem sua produção.
Se você trabalha em uma sala limpa de classe 100, certamente conhece o problema: um único grão minúsculo de material ou um leve vazamento de gases voláteis suffoca todo o lote produzido. É frustrante. A maioria dos elementos de aquecimento padrão não é adequada para esse tipo de uso; eles se desgastam ou liberam compostos orgânicos voláteis exatamente quando é preciso que permaneçam estáveis.
Nós encontramos uma solução melhor. Usamos lâmpadas de quartzo sintético de alta pureza, projetadas especialmente para trabalhos com semicondutores.
O problema com o quartzo “padrão”
A maioria das lâmpadas de IR utiliza quartzo comum. Esse tipo de quartzo contém aditivos e impurezas que se dissipam durante as primeiras horas de uso. Em um laboratório, esse período de “amadurecimento” é um desastre.
Nós eliminamos todas essas impurezas. Ao usar sílica fundida com quase zero impurezas, eliminamos o risco de contaminação metálica. Você não precisa mais lidar com esse problema inicial de desgaste, nem se preocupar com partículas microscópicas que se soltam à medida que a temperatura muda. É simples e eficaz.
Aquecimento onde realmente é necessário
Essas lâmpadas emitem luz no espectro de IR de ondas curtas. Isso é importante porque a energia vai diretamente para a superfície do wafer. Não há perda de tempo aquecendo o ar ao redor ou o chassi da ferramenta.
É rápido. Muito rápido.
Como o aquecimento acontece rapidamente e o controle de temperatura é preciso, você pode manter o design da ferramenta compacto, sem sacrificar a potência.
O lado negativo (pois sempre há um)
O quartzo de alta pureza consegue suportar temperaturas extremas, mas essa alta densidade de calor exerce grande pressão sobre os selos de vácuo e os conectores elétricos.
Se você aumentar a potência para obter maior produtividade, precisa garantir que os sistemas de resfriamento consigam suportar o calor gerado. Caso contrário, haverá risco de danos aos componentes do sistema.
Projetamos essas lâmpadas para serem substitutos simples para seu equipamento atual. Nos preocupamos muito com a qualidade do filamento e da pureza do vidro, para que você possa parar de se preocupar com partículas no ar e se concentrar na sua produção.