No chão de quartzo, até mesmo uma pequena variação de temperatura, de meio grau, pode afetar negativamente as dimensões críticas dos wafers, fazendo com que você perca todo um lote deles. Não é necessário usar um calor “intenso”. O que se precisa é de um calor que atinja os parâmetros especificados, de forma consistente, em cada ciclo de processamento.
O que desenvolvemos e por que isso é importante
Desenvolvemos este secador infravermelho compacto, equipado com emissores de ondas médias e um sistema térmico baseado em quartzo. Isso permite manter uma uniformidade de temperatura de ±0,1°C em todo o wafer. O controle em loop fechado garante que a temperatura permaneça constante, mantendo assim os processos de secagem dentro dos limites aceitáveis.
O dispositivo é compatível com ambientes de sala limpa, de classe 1–100. Além disso, utiliza materiais com baixa emissão de gases e um fluxo de ar laminar que evita a geração de partículas. Na prática, isso significa que o secador não adiciona defeitos aos wafers, garantindo assim resultados previsíveis.
Por que ele se adapta às necessidades da fabricação de CI
Na fabricação de CI, este dispositivo permite equilibrar velocidade e precisão. Ele atinge rapidamente os parâmetros desejados, executa os processos de secagem com margens estreitas de erro e mantém a uniformidade ao longo de vários lotes. Isso resulta em um controle consistente das propriedades dos wafers, menos reprocessamentos e maior eficiência na produção.
Como o dispositivo responde rapidamente e aquece apenas o que é necessário, o consumo de energia diminui. Além disso, seu tamanho é pequeno o suficiente para ser instalado em espaços reduzidos, sem ocupar muito espaço.
O que é necessário para que ele funcione corretamente
A integração do dispositivo é simples, mas é preciso dispor de um circuito de alimentação dedicado e ar comprimido limpo e seco, para manter o funcionamento adequado do sistema. É recomendável realizar um teste de ajuste inicial para otimizar o funcionamento do dispositivo de acordo com as características do fotoresist utilizado.
Uma vez configurado corretamente, o secador pode funcionar 24/7, com calibrações regulares, mantendo sempre o mesmo perfil térmico, lote após lote.