Timer voor waferdroogoven
Op de productievloer noem je een gemiste bake-window of een afwijking in droogtijd geen administratief probleem. Je noemt het afval. De soft bake- en...
Precisie IR sensor voor wafer
Op de lijn raakt de wafer het bake station met een uiterst beperkte thermische budget. Soft bake bepaalt het profiel van de photoresist. Hard bake...