Hoe houd je een Class 100-reinruimte echt schoon?
Wanneer je in een halfgeleiderfabriek werkt, is ‘temperatuurbeheer’ maar de helft van het probleem. Het echte probleem is contaminatie. In een Class 100-omgeving is één klein stofje of één korreltje stof al voldoende om de kwaliteit van de halffabricaten te verminderen.
Daarom gebruiken we geen gewone verwarmers. We maken gebruik van een combinatie van hoogzuivere kwarts-IR-lampen en bedrading die is geïsoleerd met Teflon. Hier is waarom dat belangrijk is:
Het voordeel van hoogzuiver kwarts
De meeste kwartslampen bevatten metalen onzuiverheden. Bij hoge temperaturen kunnen deze onzuiverheden loskomen. Voor halfgeleiderproductie is dit een ramp. We gebruiken daarom synthetisch, hoogzuiver kwarts. Deze lampen gebruiken kortegolflengte-infraroodstraling, zodat ze energie rechtstreeks naar het substraat sturen. Ze verspillen geen energie aan het opwarmen van de lucht om hen heen. Dit is belangrijk, want zo worden convectiestromingen verminderd, waardoor er minder stof wordt opgeworpen.
Waar veel mensen fout gaan
De bedrading is meestal het eerste wat kapotgaat. Als je standaard PVC- of silicongeleiders gebruikt, beginnen deze te ‘roken’ wanneer ze heet worden. Ze geven vluchtige organische verbindingen af, die zich op het silicium nestelen. Dat is erg vervelend. We gebruiken in plaats daarvan Teflon (PTFE) voor de bedrading. Teflon blijft bij hoge temperaturen stevig en geeft geen gassen af. Het is chemisch inert, dus of je nu in een vacuümomgeving of een hoge-temperaturomgeving bent, je hoeft je nergens zorgen over te maken. Geen onzuiverheden.
Een paar dingen om in gedachten te houden
Deze lampen genereren veel hitte in een kleine ruimte. Dat is efficiënt, maar het betekent wel dat je goed moet opletten hoe je ze monteert. Als je koelsysteem de hoge temperaturen niet aankan, kan het gebeuren dat de behuizing van de lamp begint te vervormen.
We hebben deze lampen ontworpen zodat ze gemakkelijk als vervanging kunnen dienen voor de bestaande verwarmers. Je krijgt een bron die geen deeltjes uitstoot en snel de gewenste temperatuur bereikt.
Zorg er alleen voor dat je stroomvoorziening over voldoende wattage beschikt. Anders zal de filamé sneller kapotgaan dan nodig is.