Op de productielijn is het drogen van de soldermask geen tijdelijke pauze, maar een essentieel onderdeel van het proces. Als er afwijkingen optreden tijdens het drogen, verandert ook het profiel van de fotoresist. Hierdoor kan de lithografieproces worden beïnvloed. We hebben het systeem ontworpen om dit probleem te voorkomen.
Wat belangrijk is voor het functioneren van het systeem We zorgen ervoor dat de temperatuur over het hele waferoppervlak binnen ±0,1°C blijft. Op deze manier krijgt elk gebied dezelfde thermische omstandigheden. Kwarts-halogeenlampen zorgen voor een snelle en stabiele reactie bij zowel milde als strenge droogingsprocedures. Dit bevordert een kortere cyclusduur zonder dat de controle verloren gaat. De kamer is geschikt voor een zuiverheidsniveau van Class 1–100. Alle luchtpaden zijn zo ingericht dat er geen stofdeeltjes ontstaan. De nauwkeurigheid van de temperatuurregeling ligt op een niveau van enkele milliseconden. Dit zorgt ervoor dat de resultaten consistent blijven, van productie tot productie en van batch tot batch.
Waarom het systeem 24/7 kan werken Wanneer het systeem 24/7 moet draaien, is betrouwbaarheid geen meetbare waarde – het gaat om het feit dat het systeem zonder storingen kan werken. De componenten zijn zo ontworpen dat ze lang meegaan: ze kunnen meer dan 5.000 uur werken voordat ze onderhoud nodig hebben. Minder storingen zorgen voor stabiele resultaten en voorspelbare capaciteit. De precisie van het systeem zorgt er bovendien voor dat er minder afval ontstaat, doordat under-cure en over-cure worden voorkomen. De snelle en reproduceerbare droogingsprocedure verlaagt bovendien de energieverbruik per wafer en verkort de cyclusduur.
De praktische aspecten die belangrijk zijn Voor de installatie is een aparte afvoer voor de lucht nodig, evenals stabiele stroomvoorziening met nauwkeurige spanningregulatie. De levensduur en stabiliteit van de lampen hangen hiervan af. Het systeem werkt met standaardwaferhandling en SECS/GEM-interfaces. Echter, wanneer het systeem wordt geïntegreerd in bestaande systemen, kan het nodig zijn om eerst de instellingen aan te passen. Plan hiervoor ruimte in, zodat het systeem dag na dag goed kan werken.