Het stoppen van deze nachtmerrie: hoe je je wafers schoon houdt wanneer de heaters falen
Als je al eerder hebt gewerkt met de productie van wafers in hoge volumes, weet je wat er kan gebeuren. Plotseling gaat een lamp kapot. Simpel zo.
Het gaat niet alleen om de stilstand van de productie. Het gaat ook om de glasscherven en metaalstukken die op de wafers terechtkomen. Eén barst in een kwartsbuis kan ervoor zorgen dat een kostbaar batch wafers in seconden tijd verandert in schroot en glas. Dat is een ramp.
Daarom bouwen we onze infraroodheaters op deze manier.
De “safety net”-aanpak
We vertrouwen niet alleen op één kwartsbuis om de hitte te weerstaan. We hebben ook een extra beschermend omhulsel toegevoegd. Denk erbij aan een soort reserveoplossing. Als het binnenste verhittingselement breekt of het begaat onder de hitte, vangt het omhulsel alle brokstukken op. Er valt niets meer op je wafers. We gebruiken ook kwarts van hoge zuiverheid voor het binnenste deel van de lamp, zodat je je geen zorgen hoeft te maken over vreemde gassen die kunnen lekken en de zuiverheid van de ruimte kunnen beïnvloeden.
Omgaan met de hitte
Een hoge vermogensgraad betekent intense hitte. Als de koeling niet goed werkt, worden de uiteinden van de lamp te heet en gaan de sluitingen kapot. Om dit te voorkomen, gebruiken we versterkte uiteindes en connectors die de uitzetting en samentrekking van de lamp kunnen weerstaan. Eerlijk gezegd: het extra omhulsel zorgt er wel voor dat er iets minder infraroodlicht wordt uitgestraald vergeleken met een lamp zonder omhulsel. Maar laten we eerlijk zijn: het verliezen van een klein beetje vermogen is een redelijke prijs om je hele batch wafers te redden.
Eenvoudige vervanging en onderhoud
Niemand wil urenlang bezig zijn met het repareren van een heater tijdens een dienst. We hebben deze apparaten zo gemaakt dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Je vervangt de lamp, sluit hem aan en je bent weer klaar voor gebruik.
Een tip uit de praktijk: controleer de spanning van de verbindingen elke 500 uur. Het klinkt misschien niet belangrijk, maar losse verbindingen zorgen voor hotspots. Die hotspots kunnen het kwarts beschadigen. Houd de verbindingen strak, dan blijven je lampen lang functionaleel zonder te breken.