Essiccazione della maschera di saldatura per il wafer
Nella fase di essiccazione della maschera di saldatura, non si tratta di una semplice pausa nel processo di produzione, ma piuttosto di un passaggio...
Riscaldatore a infrarossi per essiccazione di wafer
Nelle linee di produzione, un wafer che esce dalla fase di pulizia non è mai semplicemente “umido”. Si tratta di un problema serio: l’umidità residua...
Riscaldatore a infrarossi a onde medie per wafer
Nella fase di cottura dei fotoresteri, il riscaldamento non è semplicemente un passaggio preliminare: esso permette di fissare il profilo dei...
Distanza di sicurezza per il riscaldamento del wafer
On the fab floor, il gap tra il wafer e il riscaldatore non è un dettaglio secondario: è un parametro di processo che non può essere ignorato. Se...
Timer per forno di asciugatura wafer
On the fab floor, non si può considerare una finestra di bake mancata o una deriva nei tempi di asciugatura come un problema di documentazione. Si...
Sensore IR di precisione per wafer
On line, il wafer raggiunge la stazione di bake con un budget termico estremamente limitato. Il soft bake definisce il profilo del photoresist....