वास्तविक उत्पादन प्रक्रिया में, तापीय परिवर्तन कोई सैद्धांतिक अवधारणा नहीं हैं – ऐसे परिवर्तनों का प्रभाव उत्पादन गुणवत्ता पर पड़ता है। RTP में, लैंप ही वह घटक है जिसे आप नियंत्रित करते हैं। यदि तापमान में परिवर्तन हो जाए, तो फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता खराब हो जाती है, और ऐसी स्थिति में आपने बेकार ही ऊर्जा खर्च कर दी है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
RTP के लिए हम हैलोजन लैंपों का उपयोग करते हैं; क्योंकि ऐसे लैंप शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगें उत्सर्जित करते हैं, जिससे सिलिकॉन तुरंत एवं प्रभावी ढंग से ऊर्जा अवशोषित कर पाता है। इससे उत्पादन दर सेकंडों में ही प्राप्त हो जाती है, एवं तापमान में कोई अतिरिक्त परिवर्तन नहीं होता। एक्टिव जोन में वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है – ऐसा नियंत्रण ही उत्पादन गुणवत्ता को बनाए रखने में मदद करता है। क्वार्ट्ज आवरण एवं फिलामेंट की संरचना ऐसी ही है कि ये 5,000+ घंटों तक स्थिर रह सकें, एवं उत्पादन दर में 5% से अधिक की वृद्धि न हो। उत्पादन प्रक्रिया की आवश्यकताओं के अनुसार ही लैंप का उपयोग किया जाना चाहिए – यदि तेज़ तापमान आवश्यक है, तो तेज़ गति से ही उपयोग किया जाना चाहिए; जबकि धीमी गति से उत्पादन की आवश्यकता है, तो धीमी गति से ही उपयोग किया जाना चाहिए।
उत्पादन प्रक्रिया में इसकी उपयोगिता
आप क्लास 1–100 के स्वच्छ कमरों में ही उत्पादन कर रहे हैं, इसलिए कणों की संख्या कोई मुद्दा ही नहीं है। ऐसे लैंप ऐसी स्थितियों में भी कणों के उत्पन्न होने से बचते हैं; इसलिए आपको किसी भी प्रकार की समस्या का सामना नहीं करना पड़ता। बैचों के बीच तापमान में एकरूपता होने से पुनः परीक्षण एवं अपशिष्ट उत्पादन की समस्याएँ कम हो जाती हैं। एकरूप तापमान के कारण कटे हुए उत्पादों की संख्या भी कम हो जाती है। स्थिर उत्पादन दर के कारण ऊर्जा की बर्बादी भी कम हो जाती है। चूँकि लैंप तेज़ी से प्रतिक्रिया देता है, इसलिए उत्पादन समय कम हो जाता है, एवं प्रति वेफर लागत भी कम हो जाती है।
ध्यान रखने योग्य बातें
लैंप की स्थापना आसान है, लेकिन इसका प्रदर्शन ऑप्टिकल पथ एवं चैंबर की परावर्तकता पर निर्भर है। लैंप बदलने के बाद, इसे थोड़ी देर के लिए गर्म करके स्थिर होने देना आवश्यक है। लैंप की शक्ति एवं कनेक्टरों की विशेषताओं की जाँच अवश्य करें, एवं यह भी सुनिश्चित करें कि लैंप की स्पेक्ट्रल विशेषताएँ आपके उत्पादन प्रक्रिया के अनुरूप हैं। ऐसा करने से ही तापीय प्रोफ़ाइल का अनुमान लगाना आसान हो जाता है।