Pourquoi utilisons-nous des réflecteurs revêtus d’or pour éviter le gaspillage d’énergie ?
Dans le domaine du traitement des wafers à semiconducteurs, permettre à l’énergie de s’échapper constitue essentiellement une faille de conception. Le acier inoxydable poli permet certes de refléter les rayonnements infrarouges, mais ce n’est pas suffisant lorsque l’on cherche à générer une chaleur précise et intense sur le wafer. C’est pourquoi nous utilisons des boîtiers revêtus d’or. Ainsi, nous empêchons l’énergie de pénétrer dans la structure de la machine et nous la dirigeons directement vers sa destination : le wafer.
La logique derrière l’or
Il ne s’agit pas de donner un aspect luxueux à la machine. Nous utilisons l’or parce qu’il est extrêmement efficace pour refléter les rayonnements infrarouges. L’aluminium ou l’acier permettent toujours à une partie de la chaleur de pénétrer dans leurs parois. L’or, lui, ne le permet pas. En appliquant une couche d’or de haute pureté à l’intérieur du boîtier du chauffage, nous créons une cavité qui concentre l’énergie. Cela signifie que chaque watt fourni par l’alimentation électrique est effectivement utilisé à bon escient.
Conception adaptée aux hautes températures
Nous commençons par utiliser de l’acier inoxydable pour le boîtier, car cet élément offre une structure solide qui permet de résister aux variations de température. Ensuite, nous utilisons la déposition sous vide pour appliquer la couche d’or. Cela assure une épaisseur uniforme de la couche métallique. Résultat : un profil thermique beaucoup plus précis, ainsi que des temps de démarrage bien plus rapides.
Un conseil important : l’or est assez exigeant en termes d’environnement. Si vous travaillez avec des gaz corrosifs ou beaucoup de particules, la couche d’or peut se endommager ou se détacher. Dans de tels cas, il est préférable d’ajouter un bouclier en quartz pour protéger le système.
Assemblage final
Une fois que ces systèmes à haute réflexivité sont assemblés, vous remarquerez immédiatement une différence : le boîtier reste plus frais. Comme la chaleur est dirigée vers l’avant plutôt que d’être absorbée par le métal, les supports de fixation ne subissent pas autant de contraintes thermiques.
Conseil lié au logiciel : ajustez les paramètres des contrôleurs PID. Comme le système est beaucoup plus efficace, les paramètres anciens risquent de provoquer un dépassement de la température ciblée. Ajustez-les légèrement, et tout fonctionnera correctement.