Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Si vous gérez une salle propre de classe 100, vous connaissez certainement les problèmes liés à la présence de particules ou à l’émission de gaz chimiques. Une seule erreur suffit pour gâcher tout le lot produit.
La plupart des gens ne réalisent pas que les lampes infrarouges standards sont souvent la cause de ces problèmes. Elles peuvent en effet créer de l’ozone en ionisant l’oxygène présent dans l’air. C’est un désastre pour les substrats sensibles, car cela crée un environnement corrosif là où on ne le souhaite pas du tout.
Nous avons résolu ce problème. En utilisant du quartz synthétique de haute pureté et en repensant la géométrie du filament, nous avons réussi à éliminer complètement la production d’ozone.
Comment nous stoppons l’ozone
L’ozone se forme lorsque des rayonnements UV à courte longueur d’onde frappent l’oxygène. Pour y remédier, nous utilisons un mélange de quartz très spécifique qui filtre le spectre UV. Ainsi, le processus de chauffage ne libère plus de spécies réactives d’oxygène dans la chambre. De plus, nous utilisons du quartz de haute pureté, afin d’éviter toute impureté qui pourrait s’échapper lorsque la lampe atteint sa température maximale. Le verre de qualité inférieure ne peut pas supporter cette chaleur sans libérer des impuretés dans l’air.
La qualité de fabrication
Pour le tube, nous avons choisi de la silice fusionnée. Elle supporte bien mieux les chocs thermiques que les matériaux borosilicatés traditionnels. Nous accordons également beaucoup d’importance au centrage du filament. Même une petite déviation peut entraîner des points chauds, ce qui peut causer des dommages aux composants. Comme ces lampes fonctionnent à haute température pour atteindre la densité calorifique souhaitée, le joint entre les fils et le quartz doit être parfait. S’il y a fuite, des contaminants pourront pénétrer dans la salle propre. C’est tout simple.
Quelques points à surveiller
Ces lampes fournissent une chaleur rayonnante pure et directe, mais il y a un compromis à prendre en compte. Le quartz de haute pureté est un peu plus fragile que les tubes industriels auxquels vous êtes habitué. Faites donc attention aux bras de fixation : vous ne voulez pas exercer de pression mécanique sur le tube, sinon il pourrait se briser. Un autre point important : vérifiez le flux d’air. Si vous placez trop de puissance dans un espace restreint, la charge thermique sera énorme. Même sans ozone, cette chaleur peut endommager les plastiques voisins si le système de refroidissement n’est pas efficace.