Comment fournir plus de chaleur aux wafer de vos biosenseurs (sans gaspiller d’énergie) Lors de la fabrication de biosenseurs, on se heurte à un problème physique frustrant : comment faire parvenir de la chaleur au wafer, sans gaspiller de l’électricité inutilement ? La plupart des lampes infrarouges sont inefficaces. Elles émettent de l’énergie dans toutes les directions – 360 degrés. Dans un système de séchage ou de formation de couches minces, la moitié de cette chaleur va se perdre dans le boîtier de la lampe, au lieu d’atteindre le substrat. C’est un gaspillage. Nous avons résolu ce problème en utilisant des revêtements en or de haute pureté à l’intérieur du réflecteur. Pourquoi de l’or ? Bien sûr, l’aluminium est moins cher. Mais il ne convient pas pour les longueurs d’onde nécessaires à un séchage précis des biosenseurs. L’or est idéal pour les ondes infrarouges de longue et moyenne longueur d’onde. Nous utilisons une méthode de dépôt sous vide pour créer une couche d’or qui permet de renvoyer jusqu’à 98 % de l’énergie infrarouge vers le wafer. C’est comme utiliser un miroir plutôt qu’un mur mat. Ainsi, on obtient beaucoup plus de watts par centimètre carré, sans avoir à augmenter la consommation d’énergie. La lutte pour un profil thermique uniforme Personne ne veut de points chauds. Si la chaleur est trop intense près du filament, cela peut causer des problèmes. Nous avons passé beaucoup de temps à ajuster la géométrie du réflecteur. L’objectif est que l’énergie infrarouge atteigne le wafer à un angle perpendiculaire. En faisant cela, on évite que les bords du wafer ne perdent de chaleur. De plus, on évite que le substrat ne se déforme. Il reste donc plat. Les compromis à prendre en compte Le problème, c’est que lorsque l’on concentre autant de rayonnement dans un petit espace, le tube de la lampe devient très chaud. Vraiment très chaud. On ne peut pas simplement placer ces lampes dans un boîtier standard et espérer que tout se passera bien. Le système de refroidissement doit être adapté. Si l’air ne circule pas, la chaleur s’accumule autour des extrémités de la lampe, ce qui peut endommager les électrodes. Pire encore, le revêtement en or peut lui-même se détériorer à cause des contraintes thermiques. Assurez-vous que les ventilations soient correctes et que vos capteurs soient bien calibrés. En faisant cela, vos lampes dureront plus longtemps.