Arrêtez de gaspiller votre énergie : pourquoi utilisons-nous des réflecteurs en or ?
Soyez honnêtes : rien n’est plus frustrant que de payer pour de l’énergie qui disparaît simplement dans les parois du dispositif. Lorsque vous traitez des wafers, chaque watt qui ne touche pas le substrat représente en fait de l’argent perdu.
C’est pourquoi nous avons choisi des réflecteurs revêtus d’or. Cela peut sembler sophistiqué, mais la logique est assez simple : nous voulons que toute l’énergie produite par l’élément chauffant atteigne précisément sa destination, c’est-à-dire le wafer.
Pourquoi l’or ?
La plupart des gens commencent avec de l’aluminium, mais l’aluminium est comme une éponge pour l’énergie infrarouge : il en absorbe trop. L’or, lui, est différent. C’est l’un des meilleurs matériaux existants pour renvoyer les rayonnements infrarouges. En appliquant une fine couche d’or sur la coque du dispositif, on empêche toute fuite thermique. On obtient ainsi un chaleur plus concentrée sur le wafer, sans avoir besoin d’augmenter excessivement la puissance fournie.
Le compromis : chaleur et pression
Le problème, c’est que lorsque l’énergie est concentrée de cette manière, les choses deviennent très chaudes rapidement. La bonne nouvelle, c’est que les wafers atteignent leur température cible beaucoup plus vite, ce qui réduit les temps de traitement. Mais il faut faire attention au refroidissement. Si les systèmes de refroidissement ne suffisent pas pour évacuer la chaleur des bords du dispositif, cela peut causer des problèmes. On risque alors des déformations de la coque ou des fuites.
Maintenir la propreté
Ces réflecteurs ont été conçus pour être facilement interchangeables. Mais une fois qu’ils sont en place, il faut les traiter avec soin. Les surfaces en or sont extrêmement sensibles : une simple empreinte digitale ou une tache d’huile peuvent créer des zones froides sur le wafer. Cela perturbe l’uniformité de la chaleur et affecte toute la série de wafers traités.
Conseil professionnel : utilisez toujours des gants sans poils. Et si vous devez les nettoyer, utilisez de l’alcool isopropylique. Cela peut sembler exigeant, mais c’est important. Nous avons vu des systèmes perdre 15 % de leur capacité de production simplement parce que les réflecteurs étaient un peu sales. Gardez-les propres, et le système fera le reste pour vous.