V prostředí výroby nezpomaluje řadič práci, když selže nějaká lampa. Kroky zpracování – měkké zahřívání, tvrdé zahřívání a zahřívání po expozici – probíhají v rámci určeného teplotního rozsahu. Pokud se zdroj tepla odchýlí od své hodnoty nebo přestane fungovat, dojde k problémům: profil fotoresistu se změní, kritické rozměry se vybočí ze stanovených hodnot a výsledkem je odpad.
Co je z technického hlediska důležité
Semikondukční infračervená lampa byla navržena tak, aby využívala krátkovlnný infračervený emitor umístěný v křemíkové schránce. Jedná se o vhodné řešení, pokud potřebujete rychlou reakci a stabilní spektrální výstup, cyklus po cyklu. Cílem je dosáhnout teplotní jednotnosti na úrovni waferu ±0,1 °C. Toho je dosaženo díky kalibrované sadě lamp a uzavřenému systému řízení teploty, který udržuje nastavenou teplotu bez překročení limitů.
Lampa je určena pro použití v čistých prostorách třídy 1–100. Materiály a komponenty jsou vybrány tak, aby se minimalizovala tvorba částic. Emitter má dlouhou životnost – více než 5 000 hodin nepřetržitého provozu s nižší než 5% ztrátou výkonu. Celá sestava je navržena tak, aby zajistila konzistentnost výsledků mezi jednotlivými cykly a mezi různými zařízeními.
Proč to tady funguje
V litografii a zpracování fotoresistů hraje teplota klíčovou roli při odstraňování rozpouštědel, při skleněném přechodu a při selektivitě leptání. Tato lampa poskytuje potřebný teplotní profil pro konzistentní měkké a tvrdé zahřívání, bez vzniku „horkých bodů“ nebo chladnutí na okrajích. To znamená méně oprav, užší rozsahy provozu a možnost plánování výroby.
V vysokovýkonných linkách, které nepřestávají pracovat, je očekáváním nulový čas nefunkčnosti. Lampa byla navržena tak, aby toto očekávání splnila, takže váš harmonogram zůstane v pořádku, aniž byste museli řešit problémy spojené s údržbou. Spotřeba energie je snížena díky rychlému dosažení nastavené teploty – menší spotřeba energie v režimu čekání, aniž by došlo ke ztrátě teplotní stability během zahřívání.
Co je potřeba vědět
Instalace spočívá v přizpůsobení sady lamp geometrii komory a v zajištění toho, aby napájecí napětí a konektory odpovídaly specifikacím zařízení. Lampa vydává velké množství tepla, proto je nutné před testováním ověřit izolaci, bezpečnostní prvky a systém chlazení.
Je potřeba naplánovat počáteční kalibraci pro každý proces zpracování, aby byla zajištěna konzistentnost výsledků. Poté zůstává systém konzistentní s minimální potřebou další kalibrace.