Na litografické podlaze může i malá změna teploty o půl stupně narušit vaše kritické rozměry a způsobit ztrátu celé série destiček. Nepotřebujete teplo, které „působí blízko“. Potřebujete teplo, které dosahuje požadovaných hodnot v každém cyklu.
Co jsme vyvinuli a proč je to důležité
Vytvořili jsme tento kompaktní infračervený sušič s emitory střední vlnové délky a termickým zařízením na bázi křemíku, abychom zajistili rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C napříč celou destičkou. Řízení v uzavřené smyčce zajišťuje přesnost teploty, takže proces sušení zůstává v rámci povolených limitů pro fotorezist.
Sušič je kompatibilní s prostředím čistých místností třídy 1–100 – používá materiály s nízkou mírou uvolňování plynů a laminární průtok vzduchu, který eliminuje tvorbu částic. V praxi to znamená, že sušič nevytváří žádné vady. Jednoduše poskytuje předvídatelné výsledky sušení.
Proč se hodí do provozu výroby IC
Při výrobě integrovaných obvodů se tento sušič nachází právě tam, kde se setkává rychlost s přesností. Rychle dosahuje nastavené teploty, umožňuje provádění procesů sušení s velmi malými odchylkami a udržuje rovnoměrnost teploty po celou dobu procesu. Výsledkem je konzistentní kontrola rozměrů destiček, méně oprav a stabilní výkon.
Jelikož reaguje rychle a zahřívá pouze to, co je potřeba, snižuje se spotřeba energie. Jeho velikost je taková, že se vejde i do omezených prostorů bez potřeby boje o místo na podlaze.
Co potřebujete k jeho správnému fungování
Integrace je jednoduchá, ale potřebujete samostatný obvod pro napájení a čistý, suchý stlačený vzduch pro správné fungování systému odvodu vzduchu. Plánujte krátký testovací provoz, abyste nastavili parametry podle specifik vašeho fotorezistu.
Jakmile bude sušič správně nastaven, bude fungovat 24/7 s pravidelnou kalibrací a budete mít stejný teplotní profil v každé sérii destiček.