লিথো ফ্লোরে, মাত্র অর্ধ ডিগ্রিরও কম তাপমাত্রা পরিবর্তনও ওয়েফারের গুণমানকে নষ্ট করে দিতে পারে; এর ফলে পুরো ওয়েফার লটটিই নষ্ট হয়ে যায়। আপনার এমন তাপ দরকার নয় যা “খুব কাছাকাছি” থাকে; বরং এমন তাপ দরকার যা নির্দিষ্ট মানে থাকে, এবং প্রতিবারই সেই মান বজায় থাকে।
আমরা কী তৈরি করেছি, এবং এটা কেন গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা এই কমপ্যাক্ট ইনফ্রারেড ড্রায়ারটিতে মিডিয়াম-ওয়েভ NIR এমিটার এবং কোয়ার্টজ-ভিত্তিক থার্মাল সিস্টেম ব্যবহার করেছি; যাতে ওয়েফারের উপর তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। ক্লোজড-লুপ কন্ট্রোলের কারণে তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে; ফলে সফট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলো নির্দিষ্ট মানের মধ্যেই থাকে।
এটি ক্লিনরুম-সংগত; ক্লাস 1–100 মানের। এতে কম গ্যাস নির্গমন হয়, আর ল্যামিনার এয়ারফ্লো প্যাথওয়ের কারণে কোনো ধূলিকণা তৈরি হয় না। ফলে ড্রায়ারটি কোনো ত্রুটি সৃষ্টি করে না; বরং নির্দিষ্ট মানেই ওয়েফারগুলোকে শুকায়।
কেন এটা ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত?
আইসি ফ্যাব্রিকেশনে এই ড্রায়ারটি গতি ও নির্ভুলতার মধ্যে সামঞ্জস্য বজায় রাখে। এটি দ্রুত নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় পৌঁছায়, সংকীর্ণ মার্জিনেই সফট ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলো সম্পন্ন করে, এবং দীর্ঘ সময় ধরেও তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে। ফলে CD মান স্থিতিশীল থাকে, পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়, আর উৎপাদন ক্ষমতাও স্থিতিশীল থাকে।
যেহেতু এটি দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয় এবং শুধুমাত্র প্রয়োজনীয় অংশগুলোকেই উত্তপ্ত করে, তাই শক্তি ব্যবহার কম হয়। আর এর আকার এতটাই ছোট যে এটিকে সংকীর্ণ জায়গাতেও স্থাপন করা যায়।
এটিকে সঠিকভাবে চালানোর জন্য কী দরকার?
ইন্টিগ্রেশন খুবই সহজ; কিন্তু এর জন্য একটি ডেডিকেটেড পাওয়ার সার্কিট এবং পরিষ্কার, শুষ্ক কম্প্রেসড এয়ার দরকার। আপনার ফটোরেসিস্ট স্ট্যাকের জন্য রেসিপি ঠিক করার জন্য অল্প সময়ের জন্য ড্রায়ারটিকে চালানো উচিত।
একবার ঠিকভাবে কনফিগার হয়ে গেলে, ড্রায়ারটি ২৪/৭ চালিত হবে; নিয়মিত ক্যালিব্রেশনের মাধ্যমে প্রতিবারই একই ধরনের থার্মাল প্রোফাইল প্রদান করবে।